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干式真空泵--PS系列
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干式真空泵--PS系列

干式真空泵

应用领域:半导体,光电,LED,TFT,制药,化工,太阳能,真空镀膜,热处理等。

PS系列技术参数表

机型
单位
PS80
PS160
PS180
PS602
PS902
PS1302
PS1802
抽气速率
50Hz/60Hz
 
L/min
1300/1600
2150/2600
2500/3000
8300/10000
12500/15000
18000/21600
25000/30000
m3/h
80/96
130/156
150/180
500/600
750/900
1080/1300
1500/1800
cmf
48/57
77/92
88/105
294/353
441/530
580/770
875/1050
极限真空
Torr
7.5*10-3
7.5*10-4
mbar
1*10-2
1*10-3
 
Pa
1
0.1
马达
频率
Hz
50/60
电压
V
220~440
功率
Hp
4
6
4+4
6+4
6+6
kw
2.98
4.47
2.98+2.98
4.47+2.98
4.47+4.47
连接
进气
 
NW50
ISO100
ISO160
排气
 
NW40
NW40
NW40
 
流量
L/min
3~7
冷却水
压力
kg/cm2
2.0~4
 
温度
C
18~30
 
接头
 
RC3/8
 
压力
kg/cm2
0.5~1
氮气
稀释流量
L/min
0~60
 
密封流量
L/min
0~20
 
连接
 
Swagelok1/4
尺寸L*W*H
mm3
814*380*663
895*405*678
920*425*650
814*380*887
895*405*943
920*425*957
920*425*1047
重量
kg
280
300
320
450
520
540
545
噪音
dB(A)
68
70
控制界面
 
SEMI E73-0299
真空泵最大漏率
mbar.l/s
1*10-5
室温操作范围
C
5 C ~40 C
最大操作湿度
RH
90%

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